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公司名称： |
北京盖斯化工气体中心 |
| 发布日期： |
2004-11-29 |
| 所 在 地： |
国产或进口 |
| 已获点击： |
1645次 |
| 简单介绍： |
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| 请看详细说明！ |
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名称 平衡气 杂质含量
N2O 99.9997% ScottGas:SEMI C3.13-93: N2<2ppm; O2<0.4ppm; THC<0.1ppm; CO2<0.5ppm; H2O<1ppm; CO<0.1ppm; NH3<1ppm; NO<0.5ppm; NO2<0.5ppm; 卤素<0.5ppm
99.999% ScottGas:SEMI C3.13-93: N2<5ppm; O2<2ppm; THC<1ppm; CO2<2ppm; H2O<3ppm; CO<1ppm; NH3<5ppm; NO<0.5ppm; NO2<0.5ppm; 卤素<0.5ppm
99.997% CH4<1.0; CO<1.0; CO2<2.0; N2<10.0 NO<0.5; NH3<2.0; O2+Ar<2.0
99.98% CO<5; CO2<100; H2O<2.0; NO<0.5; NO2<0.5
PH3 99.9997% Ar<0.5; C3H8<0.1; N2<1.0; AsH3<0.1; CO<0.1; O2<0.1;CH4<0.1; CO2<0.1; C2H6<0.1; H2O<1.0
PF3 99.0%
SiH4 99.9999% ScottGas:N2<1ppm; O2<0.05ppm; THC<0.15ppm; CO2<0.1pm; CO<0.05ppm; H2O<0.5ppm; Ar<0.05; Chlorosilines<0.1ppm; He<1ppm; H2<20ppm; 乙硅烷<0.15ppm; 硅氧烷<0.1; 电阻 ohm/cm>10,000
99.9996% Ar<0.5; 总氯<0.1; Fe<1.5ppb； CH4<0.05; 总氟<0.1; Ga<0.04ppb;CO<0.05; 甲基硅烷<0.1; In<0.04ppb; CO2<0.1; 乙基硅烷<0.1; Ni<0.5ppb; He<10; Al<0.03ppb; p<0.15ppb; H2<75; As<0.01ppb; Sb<0.01ppb; H2O<0.5; B<0.1ppb； N2<1.0; C<0.2; O2<0.3; Cr<0.5ppbTHC<0.15
99.99% CO<2.0; He<10.0; O2+Ar<5.0; CO2<2.0; H2O<1.0; 总氯<10.0; H2<80.0; N2<10.0; THC<1.0;
99.97 CO<10; H2O<5; 总氟<200; CO2<10; O2+Ar<10;;H2<4000; THC<40
SiCl4 >99.99% HCl<35; Al<10ppb; Mo<7ppb; Si-HCl3<5; CO<1ppb; Ni<2ppb;SiH2Cl2<2; Cr<1ppb; Ti<1ppb; SiH3Cl<2; Cu<1ppb; V<2ppb;Si-OH,5; Fe<10ppb; Zn<3ppb; Si-OH(THC)<5; Mn<1ppb;
SiF4 99.998% ScottGas:N2<3ppm; Ar+O2<1ppm; THC<10ppm; CO2<1pm; 砷硼磷<0.5ppm
99.99% CO2<1; HF<50; Ar<0.5; CO<0.5; O2<1; P<0.5; CH4<10; N2<3; B<1.0
SF6 99.999% ScottGas:N2<5ppm; O2<3ppm; THC<1ppm; Halocarbon 14<5ppm; 水<3ppm; 氟化氢<0.1ppm
99.99%
WF6 99.9995%
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